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產品列表 / products

日本ULVAC CFB-600復合分子泵技術資料

更新時間:2016-01-04 點擊量:1112

日本ULVAC CFB-600復合分子泵 一、產品簡介

        復合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵,是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點,擴展了分子泵的應用范圍,廣泛應用于光伏、照明、航天航空、半導體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術的各個領域。

 

日本ULVAC CFB-600復合分子泵 二、產品特點

        復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應;由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

日本ULVAC CFB-600復合分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-600

訂貨號

3151

3152

進氣口法蘭

LF160

CF150

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

600

壓縮比N2/H2

1×109/8×103

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉速

rpm

24000

啟動時間

min

<4.5

振動值

μm

≤0.1

前極泵

L/s

4-8

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<550

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~29

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

 

CFB系列復合分子泵安裝尺寸表

型號規格

CFB-600

進氣口法蘭

LF160

CF150

D1

Ф180

Ф202

D2

Ф236

Ф236

D3

□45.7

□145.7

L1

128

128

L2

137

137

H1

395.5

395.5

H2

108

108

H3

135.5

135.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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